高溫爐在使用過程中，根據(jù)工藝需要會通入保護氣體，那么這些氣體會對硅碳棒參數(shù)怎樣的影響呢？

水蒸氣的影響：水蒸氣（H2O）在1100℃時與SiC發(fā)生強烈化學(xué)反應(yīng)，生成Si、SiO2和C。硅碳棒表面出現(xiàn)裂紋，電阻增長速度很快。

二氧化硫（SO2）的影響：SO2在1300℃與SiC反應(yīng)，故使用溫度應(yīng)控制在1300℃以下。

氮氣（N2）的影響：當硅碳棒表面溫度達到1400℃時，N2就與SiC發(fā)生反應(yīng)，生成氮化硅，使硅碳棒的電阻值顯著增長。

干燥空氣的影響：硅碳棒能在高溫（1600℃）、干燥的空氣中長期使用，電阻緩慢增加。氧氣（O2）與SiC在高溫時發(fā)生反應(yīng)，生成二氧化硅（SiO2）。由于硅碳棒表面形成了一層SiO2保護膜，因此硅碳棒具有很強的抗氧化性。

氫氣（H2）的影響：在1250℃時，H2與SiC發(fā)生反應(yīng)，生成甲烷（CH4）,破壞SiC發(fā)熱體。

氯氣（Cl2）的影響：Cl2在600℃時就會與SiC發(fā)生反應(yīng)，在1200℃時，Cl2會把硅碳棒完全分解。

氨氣（NH3）的影響：NH3在高溫時可分解成成N2和H2。故使用溫度應(yīng)控制在1250℃以下。

好了，本小編也就知道這么多了，有不詳細的地方，還請多多包涵。